設(shè)備簡述
ZY-1110大弧離子鍍膜機(jī)是我公司自主研發(fā)的超硬膜離子鍍膜機(jī),采用獨(dú)有的新型過濾弧源鍍膜技術(shù)、等離子體增強(qiáng)陽極輔助鍍膜技術(shù),規(guī)劃了爐體內(nèi)等離子體的路線和分布,增強(qiáng)了刻蝕效果,提高了離化率,使得靶材表面被均勻刻蝕,涂層表面更光滑致密,提升了涂層的結(jié)合力,確保了涂層厚度及涂層的均勻性。同時(shí),新技術(shù)的應(yīng)用提高了鍍膜效率,節(jié)約了能耗和運(yùn)行成本。
設(shè)備參數(shù)
爐體尺寸 |
Ф1180XH1050 |
有效空間 |
Ф800XH650 |
應(yīng)用技術(shù) |
IET+ BIG ARC |
靶材數(shù)量 |
IET2+ARC9 xφ160 |
標(biāo)準(zhǔn)涂層 |
TiN, CrN, AlCrN, etc. |
其他復(fù)合涂層 |
TiAlCrN, TiSiN,TiAlCN,etc. |
生產(chǎn)周期 |
4-6小時(shí)/爐 |
外圍尺寸 |
L5800XW2100XH2100mm L4800XW3000XH2100 |
使用范圍 |
適用于滾刀,鉆頭,棒狀銑刀,微鉆,刀粒等。 |
應(yīng)用
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